二手 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #293815998 待售
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ID: 293815998
晶圆大小: 12"
优质的: 2002
Prober, 8"-12"
Dual load port
CIM: RS232
(2) Front Opening Unified Pods (FOUP)
(2) Pincettes
Low Temperature Interface (LTI) Unit
CR385PH High Temperature Thermal Device (HTTD) Unit
D250 Chiller
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL prober是一种高性能、精密、自动化的非接触式、无损性prober。它设计用于探测各种基板上的应用,包括晶圆、面板和多氯联苯。TEL P12XL具有高精度Opto-sinewave编码器系统,在动态微动响应、长期稳定性和对外部环境的免疫力方面具有先进的设计和优异的性能。利用先进的主动振动控制技术，保证了高速时的优良精度和动态特性。TOKYO ELECTRON P 12 XL还具有先进的高速探针手指放置制导，允许高速探测和低对准误差。其精度为15 µm,能够探测高达3.2 Gbps的电性能测试。它还具有高精度、大冲程Z运动以及晶圆和面板处理的高灵活性。其溷合XY设计结合了1µm的高精度和300 µm/s的低速，为基板提供了最佳采样。TOKYO ELECTRON P12XL提供了多种功能，如图像模拟和动画，处理大小不一的基板，自动插入和提取多块板，处理多个炉运行。该系统提供了出色的探测稳定性和灵活性与各种探针和兼容的尖端，以及卓越的校准能力。它还提供低功耗、低振动和低噪声水平。TOKYO ELECTRON P-12 XL既适用于串行连接类型，也适用于堆迭连接类型，消除了移动问题，在探测中提供了高精度和重复性。此外,它还具有高速和低力的特点,在手动和自动化条件下均可实现安静、低扭矩、平稳可靠的操作。P-12 XL具有先进的光学传感系统,易于设置和操作,并且在恶劣的环境条件下具有鲁棒性,是一种用于苛刻生产环境的可靠、通用、高精度的探测器。
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