二手 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #293816006 待售
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ID: 293816006
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
Prober, 8"-12"
(2) Pincettes
(2) Front Opening Unified Pods (FOUP)
D250 Chiller
System Host (SH) communication error
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL是一个满足设计和生产试验应用要求的半导体晶圆探测站。TEL P12XL具有高速、两轴电动螺旋桨、电动晶片卡盘和刚性构造的台式框架。Prober可自动探测多达25 x 25 mm的探针卡,并且在Prober臂的末端有高达10 mm的变薄。精密空气轴承提供探头的平滑运动,步进电机驱动的旋转级允许精确定位在0.05度以内的样品。TOKYO ELECTRON P 12 XL装有10步晶片卡盘，尺寸可达200毫米晶圆，尺寸可降至150毫米晶圆。采用钛合金连杆臂降低高速扫描过程中的串扰和稳定性。TEL P 12 XL可容纳最多四个带有碎片管理系统的探测卡,并且能够支持高达180摄氏度的高温环境。集成CCD变焦显微镜可提供高达200X的放大倍率，并提供可变的台式倾斜，以改善探针卡对准。此外,TEL P-12 XL还可以通过可选的附件（如氧气传感系统、背面冷却、电动样品级和超压系统）量身定制,以满足特定的行业要求。TEL/TOKYO ELECTRON P-12 XL以前所未有的精确度和性能为晶圆级模具和器件的测试提供了时间和成本效益。
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