二手 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #293828518 待售
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ID: 293828518
晶圆大小: 8"-12"
Prober, 8"-12"
Type: Fully automatic
Applications: Wafer-level parametric, functional, and reliability testing
Wafer chuck: Precision vacuum chuck with optional temperature control
Chuck temperature range: -60°C to +200°C
Motion system: Precision X-Y-Z-θ servo-controlled positioning
Positioning accuracy: ±1 µm (X/Y)
Z-Axis accuracy: ±0.5 µm
Alignment: Automatic wafer mapping with optical pattern recognition
Probe interface: Compatible with parametric and functional probe card test heads
Control system: Fully automatic operation with integrated wafer mapping and probe alignment
Utilities: Clean dry air (0.5-0.7 MPa) and vacuum
Power supply: 200-240 VAC, 50/60 Hz, 1.5–2.5 kVA.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL prober是一种专业级测试装置，设计用于进行高级表面分析。主要用于半导体生产、材料分析、半导体器件测试和封装。TEL P12XL包括一个用于COT封装的空气轴承模具砂器,可快速初始放置,精度± 0.25um。垂直驱动运动技术确保稳定准确的定位。这对于低k电介质分析样品尤其重要，这需要精确和重复的对准。TOKYO ELECTRON P 12 XL还具有TEL优化的负载框架,可提供一流的力-电压-电流（FVC）表征能力。它能够对设备进行快速、精确、长期的可靠性测试。5轴系统提供了比传统3轴探针更大的定位灵活性和抗振性。通用P12XL能够进行各种类型的电气测试。在其它测试中，它可以进行顶端电阻率和电阻测试、浮基电阻率、小尺寸（SFF）测试、短间隔热循环和瞬态热测试。TEL/TOKYO ELECTRON P 12 XL还附有一个光学显微镜，方便接近和局部非接触成像（LN2I）。除了先进的测试能力外,P 12 XL在速度和准确性方面都有显着的改进。它的扫描场允许高速、高精度（<0.1um精度）的模具放置。另外一个安全功能允许操作员暂停并验证测试之间的结果。这对于更长的测试周期特别有用。TOKYO ELECTRON P12XL的整体设计较之前的型号有所改进。增强的机构即使在高振动环境中也能提高稳定性和耐用性。坚固的结构确保了一致和可靠的测试结果。最后，微控制器结构可以提高精度，即使安装在不稳定的台阶上也是如此。总之，TEL/TOKYO ELECTRON P-12 XL是一款多功能、高性能的prober，提供了极大的精度、速度和可靠性。它是高级曲面分析的理想选择,为操作员提供可靠可靠的测试结果.
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