二手 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #9045652 待售
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ID: 9045652
Automatic wafer prober
Includes:
Open single loader (right type)
X, Y Contact accuracy: ±4um, Z=±5um
Gold chuck (Temp accuracy: ±2º C, 50~150° C)
Manual flip SACC (Ø 350 mm, 20 kg)
GPIB I/F Assy
RS232 I/F Assy
VIP3
Open cassette: 8"-12"
Tester type: (FROM30 SF2000)
Wafer thickness: 350um to 2000um
Floppy disk drive (FDD): 3.5" 1.44 MB
Hard disk drive (HDD): 2.5" 2 GB
Headplate: Pogo pin type.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL是为精确计量和探测应用而设计的下一代Prober设备。它具有卓越的多相运动控制能力,能够对电子设备和组件进行精确和可重复的测量。采用先进的多相定位和伺服放大器以及可编程逻辑控制器,使系统能够在低电压下进行精确的接触和探测测量。TEL P12XL采用刚性框架构造,具有嵌入式超精密电动直线执行器,可实现精确定位。该单元还允许在受控环境中进行精确的水平和垂直运动以及高精度的拖动操作。这台机器还可以适应其操作范围内的样本变化。TOKYO ELECTRON P 12 XL可用于测试多种材料中的多种元件,包括硅基产品、金属和多氯联苯。其样品环境包括使用扩散泵和用于晶圆操作的微流形创建的真空。还提供了一种可选的低温冷却工具,可在低至-180°C的温度下运行。通过X、Y和Z轴的12英寸(300毫米)行程,TEL P 12 XL可访问大多数设备进行测试和探测。该资产具有高达100的动态速度功能,可限制周期时间并确保快速探测操作。P-12XL还具有高分辨率实时成像模型,允许在探测时平稳跟踪样品。实时等轴测图设备允许生成等轴测图,这些等轴测图是提供所测试材料的详细图像的2D图形。TEL/TOKYO ELECTRON P-12 XL还配备了集成的自动校准和桥接监控功能,方便快速识别最佳接触点。一个集成的SCARA机器人臂也有特色,它提供精确的样品处理操作,并可用于移动探针在动力学轴上。该系统设计用于需要精确计量、探测和测试的各种工业应用。为了安全起见,TEL P-12XL还具有多种保护系统,包括出入控制单元、紧急关机和ESD(静电放电)轴接地,以防止静电荷泄漏。
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