二手 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #9102059 待售
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ID: 9102059
晶圆大小: 12"
Prober, 12"
Hot Chuck Unit(Gold or Nickel)
Top Plate Assy
VIP3 CPU with R14 Series O/S
Open Type Foup Loader.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL prober是一种功能强大的多功能设备,专门为探测各类样品底物而设计。它采用先进的高真空平台和专利的自对准晶片臂,以确保最高精度和可重复性。臂可容纳全300毫米晶圆,并由步进电机提供动力,用于精确的运动控制。TEL P12XL的核心是FEM样品激发设备,它能够配置探测参数和晶圆操作,并具有高分辨率的数字图像传感器。此下一代平台旨在提高接触可靠性和降低探测力水平,帮助最大限度地减少激发引起的样品缺陷。此外,该系统还配备了接触验证功能,以提高测量置信度。该单元还包括温度控制的样品环境、多个圆盘位置和圆形粗加工。控制框架提供了一个高层次的用户可调编程,使其易于定制探测参数和设置。高分辨率彩色显示屏易于查看和配置实验,而直观的图形用户界面(GUI)可提高工作流效率。应用范围广泛,包括晶圆级缺陷审查、晶圆对准、芯片边缘和角落,以及一般检查。除了其高性能探测能力外,TOKYO ELECTRON P 12 XL还提供了多种其他功能。它具有外径修剪和成型能力,有助于优化探测性能。该机还配备了光电样机定位工具,无需手动晶圆对准。此外,机载电子环境控制模式可提高图像质量,加快探测时间。总体而言,P12XL是一种用户友好、经济高效的探测基板的解决方桉。凭借模块化的设计和直观的GUI,高级资产提供了可靠可靠的性能。TOKYO ELECTRON P-12XL具有高性能的探测能力和多种多样的特点,是提高半导体工业生产力的有力工具。
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