二手 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XLm #293804668 待售

TEL/TOKYO ELECTRON P-12XLm是一种晶片prober，设计用于直径达300 mm的大型晶片。利用TEL Prober控制设备（PCS）技术提供精确、稳定的晶圆探测性能。这种晶片探针的创建是为了以高精度和高速度分析晶片及其组成部件，并便于观察其物理和电气特性。TEL P12XLM采用了先进的宽范围双传感器系统，旨在实现超精确定位和高速映射。双传感器单元具有高精度光学机器和高速电容传感工具。光学资产测量晶片位置，范围为0.3 μ m，最大晶片可重复性为0.15 μ m。电容模型感测晶圆位置，范围为0.05 μ m，可重复性为0.02 μ m。两个传感系统合计提供0.25 μ m的总射程和0.08 μ m的精度。TOKYO ELECTRON P 12 XLM还具有先进的自动调平和调平控制能力，可提供准确高效的晶圆探测。晶圆箱装卸设备还允许在探测前预先对准晶圆，以及高效的晶圆卸载/装载。此外，P-12 XLM提供了广泛的计量选项，包括激光显微镜和OBIRCH聚类能力。OBIRCH聚类能力在映射与地形参数相关的物理缺陷（如高度和入射角）时允许高度的精度和速度。P 12 XLM采用开放式架构设计构建，允许将各种各样的控制和测量外围设备整合到系统中，包括源、探测器、测试仪和各种分析工具。这确保了适应各种生产环境的高度灵活性。总体而言,P-12XLm是一种先进、准确且适应性强的晶片处理器,专为大型晶片而设计。它利用先进的传感和自动调平技术，以及提供广泛的计量选择，以促进对晶片及其组成部分的有效分析。