二手 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XLn #9102060 待售

TEL/TOKYO ELECTRON P-12XLn prober是为半导体晶圆测试和计量设计的高端分析电子显微镜（AEM）。它具有四轴数字伺服设备,可提供精确、可重复的运动,并具有非常低的热失真级别,从而获得最大的采样精度。它采用大型开放空间设计,同时支持标准尺寸和超大型晶片。它包含了一个高分辨率的数码相机，用于扩展勘测成像和先进的自动粒子计数功能。TEL P 12 XLN prober配备了大的、明亮的场X-Y-Z晶片级，负载能力高，以及扩展的Z轴，以适应较大的采样范围。它具有强大的垂直扫描电子显微镜（VSEM），沉降时间短，图像分辨率高，通量率高。该prober还具有获得TEL专利的光束光学控制（BOC）系统,该系统提供卓越的聚焦稳定性和最小化的球差效应。此外，TOKYO ELECTRON P-12 XLN具有独特的纳米聚焦单元和两级自动居中晶片卡盘。纳米聚焦机允许电子束的超精确定位和很小的面积成像，而自动定心功能则提供了快速准确的对准，以实现快速扫描时间。Prober的设计目的是使振动最小化，增强图像稳定性，并确保在广泛的样本中进行高度精确的采样。TEL P-12XLn prober还提供卓越的边缘跟踪功能。它利用多柱自动定心板具有多个点，可以检测边缘晶片运动，同时捕获高精度的图像。Prober支持多种类型的晶片级和样品，范围从标准尺寸到超大型晶片。而且，TOKYO ELECTRON P 12 XLN由最新的TOKYO ELECTRON软件控制，兼容了一系列操作系统进行综合测试。总体而言，P-12 XLN prober是半导体行业测试和计量的理想解决方桉。其高精度组件和高级功能可确保卓越的图像质量、可重复性和准确性。其广泛的特性和功能还为用户提供了分析和测试各种样本的最终灵活性。