二手 TEL / TOKYO ELECTRON P-8XL #9168467 待售

TEL/TOKYO ELECTRON P-8XL是专门为各种半导体器件的晶圆测试和互连测试而设计的高分辨率探测器。该平台占地面积小,空间精度高,吞吐量高。TEL P8XL结合了扫描激光干涉测量和XYZ探测技术，以确保每个晶片的精确对准和测试。平台以5轴线性舞台为特色，X轴运动范围为220mm，Y轴为130mm，Z轴为18mm。XY轴的扫描速度为0.1mm-10mm/秒, Z轴的扫描速度为0.1mm-1mm/秒。激光干涉仪将低热移激光头与F#=1.10透镜和YVO4单片干涉仪编码器结合起来，用于亚微米位置分辨率。TOKYO ELECTRON P8-XL平台配备500至10Kohm的全程输出。它具有板载D/A通道,可提供改进的非线性和最小的热位移。Prober支持各种类型的探针和平台，允许广泛的测试应用。该平台具有自动工具校准功能，可确保晶片测试达到尽可能高的精度。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON P8XL prober是测试和校准半导体器件的可靠、高效和经济高效的解决方桉。其5轴线性级和高精度激光干涉仪使其成为广泛的晶圆测试和互连测试要求的理想选择。