二手 TEL / TOKYO ELECTRON P-8XL #9193119 待售
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ID: 9193119
晶圆大小: 5"-8"
Fully automatic wafer prober, 5"-8"
Voltage hot chuck: Ni Hi
WAPP
Probe card cleaning plate & brush
Semi automatic card changer
Indexer slide loader
Wafer prealigner
Wafer Table
Media handler: Wafer
Boards:
GPIB
VIP3A
CPU
Interface: Credence quartet tester
PTPA Accuracy: +/- 4.0µm
PTPA Z Accuracy: +/- 5.0µm
Inspections:
Ink dot
Probe mark
Power: 220 V
Frequency: 50/60 Hz
Current: 7.5 A.
TEL/TOKYO ELECTRON P-8XL prober是一种高度先进的基于激光的晶圆接触式prober,能够探测先进晶圆技术的严格接触要求。它是为精确和可重复性而设计的,使用了一种紧凑的光学偏转设备,可以进行精确的扫描和精确的运动控制,以进行快速晶圆测试。利用其独特的对准系统,TEL P8XL prober可以自动对准任何目标站点,对先进的晶圆技术进行准确、可重复的测试。晶圆接受率超过98%,利用激光定位单元将晶圆精确对准探头,从而最大限度地降低测量误差。TOKYO ELECTRON P8-XL还能够探测和分析具有八角形凸点的晶圆,并为用户提供用于可重复测量的高精度同步扫描和用于多接触探测的低延迟标线扫描。TEL/TOKYO ELECTRON P8-XL还具有高分辨率双号彩色液晶显示屏,用于在本机或块测试模式下查看样本图像、统计信息和测量数据。其原子级预对准技术(A-L-PAT)使用多个相机,包括板载和板载,以确保WAFER的精确对准和校准,并最大限度地提高精度。板载模具位置随后可监控和控制X、Y、倾斜角、激光功率和TFR偏差校正等多达6个轴。P8XL使用双光束扫描机,同时配备激光和微米定位器。激光定位器用于探测和成像晶圆,而微米则用于定位探针和将晶圆加载到舞台上。此外,P-8XL可以安装一个特殊的接触探针,以帮助测量大模具半导体芯片和精确映射晶片表面。TEL P-8XL Prober具有广泛的功能,为晶圆探测、成像和测量提供卓越的性能、准确性和可重复性。TEL/TOKYO ELECTRON P 8 XL凭借其先进的功能和高质量的组件,能够满足最严格的测试要求,并为用户提供当今晶圆探针的最高性能和准确性。
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