二手 TEL / TOKYO ELECTRON Precio #293770056 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Precio是一种专为晶圆测试和生产过程监控而设计的prober。它是一种高度集成的设备，结合了晶片步进器、卡盘和探针卡组件、基于PC的控制系统和CCD光学检测单元。该机器包括直径不超过5英寸的薄片的检查和测量功能,并能够对设备进行精确的电气、物理和热特性鉴定。该工具具有专有的螺旋桨设计和集成的步进机构。这允许晶片卡盘和探针卡的精确移动,从而允许在没有外力的情况下进行精确测量,例如将卡盘压在晶片上。此外，步进机构还将晶圆必须移动的次数降到最低，以便测量设备参数。该资产还具有高度精确的光学检查模型，允许对晶圆表面进行像显微镜一样的检查。设备分辨率为8 um，可用于检测设备结构等特点，包括薄膜层、接触垫、焊接接头等。此外,系统还具有内置的热控制功能,允许用户在测量过程中精确控制晶片的热环境。基于PC的控制器提供了易于使用的界面和必要的数据输入，允许用户设置测量和快速收集数据。它还提供了一套分析工具，使用户能够评估从单位收集的数据并产生高度准确的报告。该机机设计成可与多种晶圆类型配合使用，包括砷化​​氙（GaAs）、硅（Si）、磷化铵（InP）。通过灵活的设计，能够测量接触电阻、泄漏电流、器件特性、热响应等器件性能。该工具的高级设计和软件功能可实现高度准确和可靠的测量。