二手 TEL / TOKYO ELECTRON Precio #9282715 待售

ID: 9282715
晶圆大小: 12"
优质的: 2016
Prober, 12" Loader type: FOUP Chuck material: Nickel mirror chuck Chuck temperature: Hot Temperature range: Room ~+150°C Auto wafer ID reader: Insight OCR 1721 Auto needle alignment Auto wafer alignment Needle cleaning for stage: GPIB interface No 230mm x 150mm No filp SACC No WAPP No black brush No chuck blow No touch pen No color CCD Alignment camera No (3) Eyes alignment camera No Hard Disk Drive (HDD) No gold plate chuck, 12" No temperature control with chiller No auto card change Optical system: ASU/BCU-II Needle mark inspection Single loader Color LCD Display 2016 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Precio是由全球领先且最受尊敬的半导体生产设备制造商之一TEL所製造的prober。TEL Precio是一种非接触式、高度精确的光刻技术。它使用双光学电平(UV和VIS)为细腻的半导体晶圆表面提供卓越的成像和对准精度。它专为高周期生产而设计,提供无与伦比的吞吐量,同时在整个过程中保持最高质量的工艺。TOKYO ELECTRON Precio利用日本最先进的领先半导体技术。它提供了小于+/-2微米的直接对准精度,并允许每个周期的重新定位误差小于1微米。这种超高精度由先进的GEM设备实现。GEM系统支持对各种晶圆类型进行高精度对准和扫描。普雷西奥配备了实时视觉和测量单元,以确保准确和可重复的结果。其主要特点包括高速、非接触式光学测量机、先进的图像处理技术以及触摸和区域调节功能。此外,它还采用显微镜视图设计,用于精确的粒子分析和基板表面校准。TEL/TOKYO ELECTRON Precio能够处理多达3 D晶圆大小,并且可以执行多达6个几何形状的非接触测量。其双光学水平的UV/VIS工具提供了在样品表面下方不同深度测量的能力。健壮的设计每个周期最多可处理三个晶圆,其自动对准资产保证可重复和准确的结果。TEL Precio有一个内置的质量计量模型(QMS),它提供性能和可靠性评估功能。它允许多用途的过程监控,提供对过程参数与质量结果之间相关性的卓越洞察力。TOKYO ELECTRON Precio是加工精细半导体晶片的理想选择。它具有卓越的成像精度和对准精度,易于使用,同时保持出色的吞吐量。其先进的功能,如双光学水平、实时视觉和测量,以及Quality Metrology Equipment相结合,为客户提供可靠、准确的指标。
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