二手 TELEDYNE TAC HAS-500 #293658709 待售
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TELEDYNE TAC HAS-500是一种用于测试用于制造半导体器件的晶片的探测器。这种自动晶片探测站采用先进的设计,具有极高精度的X-Y表,用于将晶片精确地放置在压板上,以及用于晶片与探针精确接触的高精度Z轴。它还有一个高速TELEDYNE多区加热器设备,允许精确的样品温度全场均匀温度控制,对环境温度变化的均匀性影响不大。TAC HAS-500能够提供具有卓越质量控制的高速自动晶圆探测。它具有检测和收集数据以便快速进行过程中的测量的能力,提供高度可靠的结果。探测站采用高精度电动机驱动系统,最小行程范围为± 10微米。它还可以处理各种长宽比高达1:9的基材形状。TAC TELEDYNE TAC HAS-500还配备了高分辨率数字显微镜单元(DMS)和900万像素数码相机,用户可以在整个晶圆表面进行精确测量。它还具有嵌入式自动定位机(APS),用于检测基准标记中的坐标并精确控制晶片在平板上的定位,以及4点或6点手动对准功能。该站还包括一个电动调节工具,快速补偿基板厚度的变化。此外,TAC HAS-500与6轴机械手集成在一起,该机械手利用空气轴承实现探头的高精度移动,以实现自动对准和可重复的快速拾取操作。它还采用内置的自动晶圆映射资产进行设计,提供快速存储和回忆先前定义的晶圆映射的能力。该站还包括一个完全集成的数据采集模型,使晶圆探测过程中捕获的数据能够与每个数据集的参数数据库合并。总体而言,TELEDYNE TAC HAS-500是一个先进和可靠的晶圆探测站,旨在为准确测试和探测铅架和其他基板设备提供高效的解决方桉。其高精度的定位设备和强大的能力使其能够满足生产先进半导体器件的各种大批量、高通量工艺的需求。
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