二手 VEECO / DEKTAK AP 150 #9228646 待售

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製造商
VEECO / DEKTAK
模型
AP 150
ID: 9228646
Automatic resistivity probe.
VEECO/DEKTAK AP 150是一种通用的高精度、便携式表面剖面仪,能够测量半导体加工和器件计量的步高至1纳米米。它具有增强的灵敏度和先进的功能,可用于芯片级检测器互连、凸起和翻转芯片计量学的无损表面测量和分析操作。VEECO AP 150配备了一个远程中心变焦镜头,能够精确测量特征边缘、阶梯高度和其他表面地形参数。其较大的电信中心变焦范围使其能够对总高度低至1nm的特征进行成像和测量DEKTAK AP 150利用两个垂直和一个水平扫描轴提供最大图像场宽度为250 mm的大工作距离。此外,它还配备了180 nm垂直和0.75 nm水平分辨率,并配备了1.5 mm/秒的最大扫描速度。它还带有USB端口通信系统,可以连接到外部显示器进行显示。AP 150用于晶圆和半导体芯片的计量以及多层器件表征,能够测量各种基板上的纳米级特征和结构。这使得它可以用于MEMS和微电子设计等多种应用。它也适用于亚微米表面的测量、扫描电子显微镜(SEM)应用和扫描探针显微镜(SPM)。该设备还提供了增强的性能功能,如可重复测量、蓝色照明、非接触式样品确定以及通过自动滤镜控制的长期稳定性。此外,非接触式样品选择系统可以防止表面污染造成的扫描工件。此外,它还与各种真空传输和加载系统兼容,以扩大其应用范围。简而言之,VEECO/DEKTAK AP 150是精确计量和无损表面剖析的可靠、准确和通用的选项。它提供了强大的功能组合,使其成为晶圆计量、半导体器件表征、MEMS和微电子设计等领域广泛应用的理想选择。
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