二手 VEECO FPP 5000 #155579 待售
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ID: 155579
Four point system with probe head
Features:
Compact integral probe and display
Resistivity: 450k ohm/sq
Resolution: .001 milliohm/SQ
0.5% High accuracy
Index substrate holder
Integral RFI and light shielding for high resistivity measurements
Back lit front panel
Selectable displays:
Sheet and bulk resistivity
V/I
Thickness in, A, MILS, or microns of a slice or layer with bulk resistivity
Geometric correction range:
Selectable baud rate: 9600, 4800, 2400, 1200, 300, 150
Output: 25 Pin female subminiature "D" connector
Hand held probe head:
Testing wafers over 6" in diameter
Includes 6' cable
Electrical specifications:
Power: 115/230 VAC +/- 10%, 50/60 Hz, 30 W.
VEECO/DEKTAK FPP 5000是一款用途广泛、功能强大的处理器,旨在实现设备电气特性的精确测量。它用于多种设置，包括在制造过程中测试晶片以及在研发过程中测量电气连通性。VEECO FPP 5000配备了光学和接触扫描设备,能够准确探测接触和非接触特性。它具有一个三轴扫描系统，可以为各种应用高精度探测样品。该单元由具有旋转平台的电动级驱动，该旋转平台可以沿垂直方向和X-Y平面移动样品。该机配备了6轴闭环伺服工具，可以检测和校正样品位置的误差，以确保精确的结果。该资产还具有依赖于尺度的空气缓冲真空吸盘，以保持样品稳定。此功能通过消除测量应用中的任何潜在基板漂移来提高设备的精度。单个探头组件采用线性执行器来精确测量样品。DEKTAK FPP-5000配备了嵌入在模型中的高精度表面自相关器（HASC），以实现先进的非接触精度。该工具测量样品的半螺距、图样方向和CD均匀性，精度很高。该设备还具有自动晶片聚焦功能，可快速将样品带入成像平面，提高精度。个别探头配有输入/输出滤波器，以保护样品免受射频干扰。此功能允许跨频率扫描,同时仍能获得准确的结果。VEECO FPP-5000还附带了功能强大的用户界面软件,该软件可配置为适合各种应用程序。此软件旨在提供对系统的安全访问,确保只有经授权的人员才能监视或修改设置。DEKTAK FPP 5000是需要精确样品探测和测量的应用的理想解决方桉。其先进的功能使其适合在各种设置中使用，例如制造和研发，使用户能够获得关于设备特性的高质量数据。
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