二手 AMAT / APPLIED MATERIALS A100L IPUP #9255606 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS A100L IPUP是一种旋转动力离心真空泵,旨在为半导体加工工具提供真空条件。泵类似于涡轮泵,或Turbomolecular Pump,然而,它不是利用涡轮机,而是使用同轴转子来创造必要的真空。转子由两个转子组成;封装在第二个定子内的外部驱动转子。转子由外部电动机驱动产生内部反应。定子由几个定义的不对称叶片组成,这些叶片的排列方式可以减少两个转子产生的环面中的气流量。叶片还减少了由于空气湍流和诱捕造成的阻力。这种配置导致更高的极限压力、更低的振动水平和更安静的操作。AMAT A100L IPUP是一种油封机械泵,具有独特的内部几何形状,旨在最大程度地提高泵送速度并最大程度地减少磨损。转子由不锈钢制成,涂有防腐蚀材料。定子通常由金属合金如镍制成。泵还配备了热保护系统,以防止其过热。APPLIED MATERIALS A100L IPUP能够产生1 x 10-3至1 x 10-5 Torr的真空范围,在海平面的抽水速度为3.4立方米/小时。它设计用于可在115V或400V运行的框架安装马达。电机具有可调制动器,并带有5年保修期,确保长时间可靠运行。A100L IPUP具有提供可靠真空源的能力,是各种半导体工艺的理想解决方桉。它特别适合于离子注入和物理气相沉积等过程。该泵还设备齐全,可提供其他行业的真空源,如医疗、研究和工业应用。AMAT/APPLIED MATERIALS A100L IPUP是任何需要真空源的工业或实验室环境的宝贵设备。
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