二手 BOC EDWARDS iH1800 NRV MK5 #9129480 待售

中银爱德华兹iH1800 NRV MK5是中银爱德华兹设计制造的坚固可靠的原子层沉积泵。它采用创新技术,提供一致的合规性和可靠的层厚度轮廓。它专为要求苛刻的应用和工艺而设计，无论是聚合物、金属还是电介质。首先,此泵采用集成的自动自动充电NRV（负电阻阀）,可自动调节速度、压力和降低雾气。这样可以在操作人员干预最少的情况下精确控制过程参数，同时最大限度地减少由于大气压力影响造成的损失。NRV系统设计用于在工艺条件波动的情况下实现均匀一致的层覆盖。iH1800泵还包括一个直接的低真空机械前泵。这允许相对较快的泵送时间，同时为上游过程提供清洁的进气口。机械前泵的额定功率为25 Pa,如果需要,可以安装离心鼓风机。根据应用情况，它能够容纳各种不同的气体种类。此外，iH1800 NRV MK5提供一流的真空控制，使过程可以重复，独立于大气压力和水分或其他可冷凝物质的存在。这是通过各向异性电辅助闸阀（EAGV）技术实现的。与传统的闸阀相比，它能够进行多达500万次的开放式闭合操作，使用寿命得到改善。最后,此泵的设计和认证考虑了安全性和可靠性.它是由高品质的材料，提供耐久性和耐腐蚀。内部可轻松组装拆卸，维护要求低。它有一个高度可靠的溷合电子系统，有助于消除因泵故障而导致的运行停机。总之，中银EDWARDS iH1800 NRV MK5泵是一种有效、可靠的泵送技术，适用于要求苛刻的ALD工艺。