二手 BOC EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-301CVB3 #9261012 待售

BOC EDWARDS/SEIKO SEIKI STP-301CVB3是一种可靠、紧凑的半导体加工泵。它以30升/分钟的高抽水速度、760 Torr的最大两级初级压力、1 x 10-4 Torr的高极限压力设计。泵能提供低分压气体，适用于各种半导体工艺。BOC EDWARDS STP-301CVB3采用坚固的设计,带有不锈钢外壳,安装在无振动平台上。标准的齿轮和润滑油保证了长期的泵的可靠性和准确性。它还配备了坚固的陶瓷马达和阀门部件，用于稳定和均匀的泵送作用。该装置具有快速连接接口，便于排气阀的集成和从工艺室的高效排出。SEIKO SEIKI STP-301CVB3设计具有广泛的性能特性和安全法规。自动停止功能在一定压力水平下自动停止操作,可通过数字控制器进行调节。此泵还具有软启动功能，缓慢增加内部压力，以防止因突然冲击波造成系统损坏。还配备了温度防护，防止过热。此外，它还允许一个高效和低噪声操作，其振动阻尼器和声学外壳。STP-301CVB3是各种半导体工艺的理想选择。其强大的设计和可靠的性能使其非常适合长期的工业和研究应用。它在低分压下转移气体的能力使得它成为溅射沉积、离子注入、等离子体蚀刻和光刻的绝佳选择。BOC EDWARDS/SEIKO SEIKI STP-301CVB3有多种配置,例如湿式和干式设计,适用于不同的应用。这是一个易于安装和维护的泵是完美的半导体制造和加工。