二手 CANON / ANELVA P-082C #9355379 待售
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ID: 9355379
Cryo pumps
Pumping speed (L/s):
Nitrogen: 1500
Argon: 1300
Hydrogen: 1000
Water: 4000
Maximum pumping flow (Pa-m³): 1.5
Maximum gas instantaneous tolerance (Pa-m³): 18.0
Startup time: 45 min
Regeneration time (Heat-up): 30 min
Startup regeneration time: 75+α
Pumping capacity (Pa-m³):
Argon: 150000
Hydrogen: 1300.
CANON/ANELVA P-082C泵是一种坚固而精确的旋转泵,设计用于半导体加工设备。它能够达到每小时1,970标准升的流量(SLPH),并为更可靠的操作提供卓越的振动控制。佳能P-082C采用可靠和坚固的液压旋转叶片设计,能够有效地输送气体和液体。此外,旋转叶片的平衡转子设计有助于降低振动水平和泵所产生的噪声。ANELVA P-082C还配备了可调节的停止位置和速度控制,用于高效的泵运行和对工艺气体和液体的精确控制。P-082C的基础结构采用经ESR处理的铝合金,设计为抗冲击、抗振动、导热、高强度。CANON/ANELVA P-082C在泵体和叶轮之间采用独立的机油润滑轴承和弹簧加载的机油密封密封。这有助于最大程度地减少轴上的热量损失、噪音和磨损。CANON P-082C还具有安全安全阀系统和可调节的压力调节器,旨在保护泵免于超压和热失控。此外,ANELVA P-082C还有一个可选的差压开关,用于监控过程压力。P-082C也是高效可靠的,操作温度范围为-40°C至+40°C。此外,CANON/ANELVA P-082C还提供了一种防水电缆,可直接插入工艺硅胶管中,保护泵免受工艺腐蚀的影响。泵的设计是低维护,一件式盖和易于更换的滤筒,以确保连续使用。总体而言,CANON P-082C泵是一种先进的旋转叶片泵,在高精度应用中为最大的性能和可靠性而设计。坚固耐震的结构、自给式润滑轴承、可调压力调节器、防水电缆和易于更换的滤筒,使ANELVA P-082C半导体加工等高精度应用的理想选择。
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