二手 CANON / ANELVA P-875CA #293769101 待售

製造商
CANON / ANELVA
模型
P-875CA
ID: 293769101
Cryo compressors.
CANON/ANELVA P-875CA是一款高效可靠的涡轮分子泵,专为超高真空(UHV)在半导体制造、研究实验室和其他先进工业环境中的应用而设计。这种泵是为薄膜沉积、等离子体蚀刻、离子植入和表面分析等各种过程创造和维持清洁和受控真空环境的关键部件。佳能P-875CA采用小巧轻巧的设计,非常适合空间有限的装置。尽管这种泵的尺寸很小,但对于氮气来说,它的泵送速度高达750升/秒。高抽水速度确保了腔室的快速排空和污染物的高效清除,从而加快了循环时间,提高了工艺可靠性。ANELVA P-875CA的主要特点之一是其先进的转子设计,它由精密设计的叶片组成,这些叶片高速旋转以产生强大的泵送作用。转子装在真空密封室内,以防止污染并确保长期可靠性。此外,泵还配备了磁性轴承,可提供无摩擦操作,并且无需润滑,减少维护要求并延长泵的使用寿命。P-875CA配有内置控制器,便于监控和控制泵的操作。控制器包括变速调节、自动转子平衡和远程通信功能等功能,实现与外部系统和工艺工具的无缝集成。泵还提供灵活的安装选项,并且可以在任何方向安装,以适应各种系统设计。CANON/ANELVA P-875CA除了具有较高的抽水速度和紧凑的设计外,还具有较低的功耗和最小的振动水平,是真空应用的节能环保选择。泵的高效设计有助于降低运营成本,并确保长期使用时性能一致。CANON P-875CA的设计满足特高压环境的严格要求,基本压力在1 x 10^-10 mbar或更低范围内。这种超高真空水平对于在半导体和研究应用中实现无污染工艺和高质量薄膜涂层至关重要。泵的坚固结构和可靠部件保证了在要求苛刻的超高压运行条件下的稳定性能。总体而言,ANELVA P-875CA是一款顶级的涡轮分子泵,它结合了尖端技术、卓越的性能和可靠的操作,以满足现代真空系统的苛刻要求。凭借其紧凑的尺寸、较高的泵送速度、先进的转子设计以及用户友好的控制,这款泵是一款用途广泛的解决方桉,适用于精度、效率和可靠性至高无上的各种特高压应用。
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