二手 CANON / ANELVA P-875CA #9105082 待售

CANON/ANELVA P-875CA是为等离子体蚀刻工艺设计的高性能、宽范围抽水设备。这种通用的系统为要求苛刻的等离子体环境提供了极好的泵送速度和极好的可靠性。它是一种紧凑、高流量、低维护、集合式离子泵，专门为蚀刻工艺而设计。CANON P-875CA由于其优越的抽水速度和较短的回收时间，可用于多种应用。它的五级设计允许高达875升/秒的高抽水速度，极低的压差为0.2 Torr。这使得蚀刻过程能够得到准确的监控和控制，同时考虑到应用程序的具体需求。该装置配有一个真空计控制器，提供高精度和灵活性，以及一个双频功率不稳定检测器，可以检测机器中的任何功率波动，并向用户发出警报。此外，该工具还具有高质量的涡轮分子侧泵，具有较高的泵送速度、较低的振动和较高的生存能力。为了确保卓越的可靠性,ANELVA P-875CA设计为将所有必要的组件内置到由不锈钢和单个O形圈密封件制成的一件式外壳中。这样可以防止任何外部污染,避免损坏资产内部组件的风险。总体而言,P-875CA是一款卓越的机型,提供卓越的性能和可靠性。它具有真空计控制器、双频功率不稳定检测器和涡轮分子侧泵等广泛的应用和特点，非常适合蚀刻工艺。一件式套管设计有助于确保设备的长期可靠性和优异性能。