二手 EBARA ET-300WS-A #165509 待售
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ID: 165509
优质的: 2000
Anticorrosion Turbomolecular Pump used on Applied Materials Centura Metal Etch R2 Chamber
ET-300WS-A description:
Part Number: AET08
Rotation Speed: 48,000 min-1
Weight: 15 kg.
Power Requirements: 200 ~ 240 V
2000 vintage
Applied Material's (AMAT) Information:
Part Number: 3620-01437W
Specifications:
Flange:
Inlet: VG 100
Outlet: NW 25
Pumping Speed: 270 N2 l/s
Maximum Compression Ratio:
N2: > 109
H2: 7 x 103
Ultimate Pressure: < 10-6 Torr
Allowable Outlet Pressure: 400 Pa (3 Torr)
Revolution Speed: 48,000 RPM
Run-Up Time: 6 Minutes
Installation Position: Any
Vibration Level: < 0.01 µm o-p
Pump Bake Out Temperature: 100°C max.
Bearing System: 5-axis magnetic bearing
Cooling System: Water
Cooling Water Flow Rate: > 2 l/min.
N2 Gas Throughput for Purging: 85 Pa-l/sec (50 sccm)
De-installed.
EBARA ET-300WS-A泵是为废水和污水处理系统设计的.它是一个单级潜水电泵，能够泵送高达200 GPM，并开发了可靠的电机和坚固的部件，确保在恶劣条件下的卓越性能。它由两个主要组成部分组成；叶轮和排气口。叶轮由提供空气夹带的铝制离心式壳体和提高效率的开槽叶轮设计组成。径向轴承和轴向轴承安装在轴上,使用寿命长.轴本身被封闭在热塑性隔离室中，以减少噪音和振动。ET-300WS-A还配备了不锈钢轴和耐腐蚀外壳，即使在恶劣条件下也能使用寿命长。泵的排气口装有可调节的不回流阀，允许泵的操作具有灵活性，并有助于防止泵离开时可能发生的回流，还可以方便地对泵进行改装，以适应不同的应用。此外，与放电口的连接使泵能得到专业和远程的监控和控制。该泵设计为装有浮动开关，用于检测被抽水的水位。这可以使泵以精确的精度运行，也有助于保护泵免于干燥和超载运行，从而导致泵失灵。EBARA ET-300WS-A是一种高效产品,非常适合长期可靠性和低维护成本非常重要的任何应用。该泵以其高容量、坚固可靠的结构，适用于从废水处理到排水、下水道、排水抽水等广泛的废水应用。
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