二手 EDWARDS iXL120 #9329132 待售
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ID: 9329132
Dry pump
Wafer handling
Pumping speed: 110 m3h-1
Fast pump down of load lock chambers
With extremely low energy consumption
Low vibration and low noise
35°C Water supply reduce cooling water requirements
Total Average Cycle Time (TACT) Power consumption: 0.55 kW.
EDWARDS iXL120是为轻工业和科学用途而设计的旋转式真空泵。它具有独特的油气溷合密封活塞缸机构和优化的操作,以实现卓越的泵送速度。它获得专利的"智能"设计可以方便地安装、操作和维护,而它结合了无油和近乎音调的设计则降低了运行成本。在10 mbar的最大压力下运行,EDWARDS IXL 120额定容量为28 m3/h(极限压力)。它提供极低的极限压力,因此特别适合汽车和工业应用,如精确测量和泄漏检测。它安静的操作声级使其成为MICE应用程序的理想解决方桉。凭借其集成直流电动机,iXL120节能,耗电量仅为0.91千瓦。它具有多种先进功能,如内置冷却电路、可调速度控制、漏油温度控制和确保可靠运行和长泵活期的运动保护温度控制。它还配备了风冷电动机,以增强鲁棒性,并可以与集成气体镇流器进行干式运行。IXL 120设计为在-40摄氏度至120摄氏度的广泛温度范围内运作。这使得它非常适合一系列工业和实验室应用。为确保最大安全和长期运行,它具有耐火材料保护套筒、压力发射器控制单元和隔离阀。它的无油和近乎色调的设计也确保了在峰值效率下操作所需的最低限度维护。总体而言,EDWARDS iXL120是一种创新的高能效旋转式真空泵,具有独特的先进油气溷合密封活塞缸机构。由于其安静的操作、低的极限压力、可调的速度和易于维护的设计,它适用于汽车、工业、实验室和MICE应用。
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