二手 NRC / VARIAN 3317 #70876 待售
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ID: 70876
High vacuum station designed for leak detection of Helium pressurized components or vessels
Includes: 18" dia x 20.5" tall ss chamber with electromechanical hoist on 20" ss baseplate
Pumping system consists of VARIAN M6 diffusion pump rated at 1500 l/s air, an NRC/Varian 316 LN2 baffle electropneumatic valves with sequencer and 17 CFM mechanical roughing pump
A combination cold cathode discharge gauge and 2 position thermocouple gauge is also included
Helium mass spectrometer is not included.
NRC/VARIAN 3317是一种涡轮分子泵用于创造高真空。这种泵是由电动机、涡轮分子转子和定子组成的机械装置,在大气压和真空之间产生恒定的气体分子流动。泵在高达10-2 mbar的压力范围内运行。其最大转速为14500 rpm,吸力为200 l/s。NRC 3317测得的冷却功率为8.2 W,非常适合在保持清洁环境的同时保持稳定的温度范围。因此,它经常被用于粒子浓度非常低的应用,例如半导体制造。此外,泵还采用了直接驱动设计,消除了增加的摩擦,提高了性能。马达噪声水平低,仅在1米的距离内产生58dB。VARIAN 3317由耐腐蚀铝材料制成,使其具有很高的耐用性和可靠性。所有部件都是为方便维护和部件更换而设计的,能够在兼容的变速箱之间互换。泵的工作可靠性超过93%,因此每年的最小故障时间少于10分钟。它有一个轴承室,设计用于清洁、成熟的润滑系统,还配备了齿轮轴无刷设计。这提供了较低的磨损水平,提高了泵的预期寿命。涡轮泵整体设计紧凑,非常适合台式真空应用。光学对准、温度监控和内置过载保护增加了泵的整体质量和性能。总体而言,3317是在低粒数环境中需要清洁、可重复真空生成和热稳定性的应用的理想选择。其耐用性和易于维护的设计使其成为任何应用的可靠选择。
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