二手 PFEIFFER / BALZERS TMU 262 #9252591 待售
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ID: 9252591
晶圆大小: 6"
Turbo molecular pumps, 6", many available
CF Flange with AF25 exhaust port
Exposed to inert gas and carbon dust
Process: Silicon carbide bulk crystal growth
Chemicals used:
Air
Argon
Carbon dust
Silicon carbide dust.
PFEIFFER/BALZERS TMU 262是一种旋转式叶片泵,结合了优越的抽水特性和坚固的设计和构造。这种综合泵模型为复杂的工艺应用提供了方便的维护和可靠的性能。BALZERS TMU 262是一款直驱机油润滑旋转叶片泵,泵送速度范围为0.25至315立方米/小时,实测吸力高达6.9 mH2O。它还具有较高的气体压载能力,非常适合用于要求苛刻的过程,如磁体的真空处理和高真空过程。旋转式叶片泵采用重型结构,由两个高强度加固铸铁部件组成,确保最大耐用性和泵稳定性。配备高档O形环,用于最佳密封和快速泵排量。其高惯性通过非金属驱动耦合进一步增强,消除了金属磨损,增加了设备寿命。泵可精确控制旋转速度,并能够在最小超调的情况下进行精确泵送。PFEIFFER TMU 262利用直观的控制设备,集成了动态过程负载控制、负载相关的坡道速度调整和动态速度调整,以实现精确的阻尼。它还包含一个独特的逆流保护系统,该系统可保护泵的内部免受温度升高的影响,这是多个过程周期中长期应用的理想功能。除了这些功能外,TMU 262还提供多种便利功能,如自动重新启动、可听报警单元和多步骤设置验证。此外,机器的内部电源有助于优化泵的性能并防止停机,而防振安装装置可使泵稳固地固定,并在操作过程中防止振动或噪音。这种健壮的泵有一系列尺寸,允许用户选择最适合他们的工艺要求的模型。总体而言,PFEIFFER/BALZERS TMU 262是一种可靠、高性能的泵,适合苛刻的工艺应用。其通用的设计确保了极致的精确度,并增强了耐用性和寿命,使其成为任何需要强大泵的工艺的绝佳选择。
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