二手 PFEIFFER / BALZERS TMU 521UP #124369 待售

PFEIFFER/BALZERS TMU 521UP是一种高性能、中容量、主动冷却的涡轮分子泵。其设计基于两级扩散阻力泵送机构，具有专有的BALZERS ULTiMATE泵送性能技术。本泵设计用于半导体和激光加工及一般真空应用.BALZERS TMU 521UP的最大抽水速度为180升/秒,最终总压力为2x10-10毫巴。这种性能是通过使用两级阳极氧化铝涂层组件实现的，优化用于低流体动力损耗和最小的内部阻力。第一级由两个轴向布置的定子叶片组成，它们支撑在刚性壳体内，而第二级则由一个径向转子组组成。此外，转子采用钛合金制成，以增强耐磨性。此外，PFEIFFER TMU 521UP装有主动冷却电动机，有助于降低整体能耗，提供优良的冷却参数和提高电动机寿命。电源连接装有三级电流监测系统，在电流消耗过大的情况下关闭泵。该泵符合DIN要求,具有直接连接KF25端口,并且可以在任何方向安装,从而在狭窄的空间中提供最大的灵活性。另一个好处是集成的k离子吸收器，它作为氧气、氢气和水蒸气分子的清道夫泵，导致排气性能提高。TMU 521UP采用永久性油雾分离器系统构建，防止油类分子释放到工艺室内。这样就形成了一个更清洁、质量更高的真空工艺环境，并通过消除更换油的需要来帮助延长泵的使用寿命。总体而言，PFEIFFER/BALZERS TMU 521UP是一种可靠高效的中型涡轮分子泵，非常适合各种高级真空和半导体加工应用。此泵可提供出色的长期性能、低功耗以及在狭窄空间中轻松安装。