二手 ULVAC DAL-10S #9110366 待售

ULVAC DAL-10S是一种干式机械泵,具有很高的强度和性能。这种泵的设计满足了等离子体工艺最苛刻的要求，如RIE（反应性离子蚀刻）、CVD（化学气相沉积）、MBE（分子束外延）等蚀刻应用。DAL-10S是一种径向干式机械泵，具有两级压缩，包括轴承润滑和活塞/柱塞机构。它使用一种特殊设计的圆柱形转子，即使在极限压力下也能有效操作。该转子由高抗性不锈钢制成，直接与传动轴相连，确保低振动操作。两级压缩法利用内缸中的活塞和外缸中的阀门。活塞和阀门在内缸中产生真空，直接转移到加工室。内缸沿其直径有许多弯曲的叶片，以确保泵送气体沿其整个长度均匀流动。ULVAC DAL-10S泵是为高流量能力而设计的，最大标称泵送速度（NPS）为25立方米/小时（900升/分钟）。通过精心设计的不锈钢过滤器提供了在线过滤和颗粒消除，该过滤器可去除0.3 μ m以下的颗粒和灰尘。泵装在全焊接不锈钢壳体中，并配有油位指示器、排油口和排水阀。它可以在0°C至45°C的温度下运行，噪声水平低于65 dBA。为方便起见,DAL-10S配备了可视压力表和压力指示器面板。ULVAC DAL-10S是一种可靠且持久的干机械泵，非常适合许多等离子体工艺。其低振动、低维护的设计保证了无故障运行和最大效率。这种泵以其卓越的流速和过滤能力，是任何需要优质真空的工艺的绝佳选择。