二手 ULVAC LR90 #9287394 待售

ULVAC LR90是一种用于最终真空应用的旋转叶片机械真空泵,能够达到高达0.005 torr （5 x 10-4 mbarA）的真空水平。其特点是采用直接驱动电机，对内部部件进行强制润滑，并采取最佳的密封措施，最大限度地减少氨泄漏率。高极限真空，结合先进的采油系统和污染物管理，使其成为半导体加工的理想之选。LR90包括用于长期、连续工作运行的高能效、超高能直驱电动机。它还配备了先进的采油设备，通过从真空室中回收油并将其用于确保泵的连续润滑来提高效率。其先进的污染物管理系统采用两级分油器，以降低运营成本。ULVAC LR90有一个最优的密封措施，以尽量减少氨的泄漏率。这包括双作用O形圈密封件，当提供清洁的氮气和/或氧气时达到500的密封系数。一个特殊的通风装置将氨泄漏率降低到1.0 x 10-8 mbarA，减少残留气体污染。LR90设计便于维护和更换。该泵无需拆卸即可使用，其坚固的构造允许长达5万小时的连续运行。它还具有广泛的工作温度，允许在各种环境中使用。此外，ULVAC LR90有一个集成的监控机器，提供有关泵的性能的实时信息。它还包括一个保护模式功能，在操作异常的情况下将关闭泵。内置的温度和差压指示器提醒操作员注意任何问题。LR90是一种先进的旋转叶片机械真空泵，专为最终真空应用而设计。采用节能直驱电机、先进的采油系统和优化的密封措施，最大限度地降低了氨泄漏速率。其集成的监控工具和保护模式功能提供实时信息，并提醒操作员任何问题。ULVAC LR90结构坚固、运行时间长、工作温度广,是半导体加工的理想选择。