二手 VARIAN DS 602 #110124 待售

VARIAN DS 602是一种膜泵，设计用于半导体及相关行业。这种泵是理想的应用，如超高真空沉积薄膜和其他先进的半导体工艺。泵的设计目的是在较低的压力下提供较高的泵送速度，同时保持极其可靠和操作时极其安静。VARIAN DS602是一种干式式多级真空泵，具有干式不旋转直线运动密封。设计融合了全套轴承，每个轴承都有自己的机械密封，在坚固且密封良好的外壳中，以确保最大的耐用性和性能。完全封闭的外壳可防止污染，并有助于将声音水平保持在最低水平。DS-602包括独特的转子设计,在低真空水平下提供稳定且控制良好的压力,非常适合半导体应用中的优化吞吐量。此外，还提供了一些行业标准控制，以便于控制真空压力和其他操作参数。泵由50/60 Hz频率范围的强大交流同步电动机驱动，设计用于在低频时提供最大扭矩。此功能可确保VARIAN DS-602能够在较高的压力和温度下提供可靠的操作。此外，电动机是专门为降低振动和噪音水平而设计的，非常适合用于敏感的半导体应用。DS602旨在提供高效运行,95%的压缩空气用于最大限度地提高潜在吞吐量。此外，泵还配备了一套进气和排气过滤器，可进一步帮助减少颗粒物污染并提高效率。包括的安全联锁有助于确保操作保持在设备参数范围内,并且作为额外的安全措施,一个压力释放阀和一个鼓风机可在较低的压力和温度范围内运行。总体而言,DS 602是一个出色的解决方桉,适用于需要可靠、低压和高泵送速度性能的应用。此外,它的设计确保泵动态地保持几乎无噪声的操作,使其成为一系列敏感的半导体相关应用的理想选择。