二手 VARIAN VHS-10 #9283204 待售

製造商
VARIAN
模型
VHS-10
ID: 9283204
晶圆大小: 10"
Diffusion pump, 10".
VARIAN VHS-10是一种设计用于各种工业过程和应用的高压机械真空泵。这种旋转式叶片泵能够产生低于10 mTorr的极限压力,是创造经济真空的高度可靠和经济高效的解决方桉。VHS-10具有铝制外壳、钢法兰和弹性体密封旋转组件,以确保其长期运行。该泵的核心部件包括一个旋转叶片,一个识别气体镇流器,一个可调进气门,和一个出口阀门。每个叶片都是弯曲的,以便在泵的驱动轴上安装一个凹槽,并且能够在入口阀和出口阀之间自由移动。当传动轴旋转时,叶片在进入进气门时会关闭单个空腔,并且在最终从泵出口排出之前,所捕获的气体会受到旋转速率的压缩。VARIAN VHS-10设计易于安装和维护。它的端板开槽方便重整,高吸力使得它只需一小段时间的操作就能达到完全真空。为了获得最佳效果,泵应配备适当的内容过滤器,并应始终在清洁干燥的环境中运行。为确保其长期运行,泵应按照制造商的建议定期维修。总体而言,VHS-10是一种可靠且经济高效的真空泵,非常适合各种工业应用。它设计简单,维护要求简单,操作经济,是营造真空环境的理想选择。
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