二手 ACCRETECH / TSK ARTS-HS #9244273 待售

ACCRETECH/TSK ARTS-HS是一种快速热处理器，旨在作为Power半导体器件开发的理想平台，包括Power模块和Driver IC。处理器利用快速热处理和电力应用技术，在短短15分钟内就实现了高速准确的热处理结果。它具有很高的吞吐量，在15分钟内处理了10-15个晶圆，可以处理各种样本量。处理器利用安装在重型钢或铝制框架上的热板设备,为快速热处理提供有效的热环境。热板系统包括一个高温、高速的陶瓷加热元件，有助于快速、均匀地加热晶片。热板内嵌有一系列温度传感器，以确保可靠准确的温度调节。热板的温度也由基于传感器反馈的PID温度控制器控制。TSK ARTS-HS可与各种气体输送系统配合使用,以实现快速、受控的热处理。这些气体包括在热板和样品晶片之间输送的载流子、净化和反应性气体。处理器还可以与外部气体输送系统一起用于氧化和氮化等应用。处理器配有一个自动机器人臂，该臂允许热板在样品晶片之间移动，样品晶片移动到集成装载机进行存储。机器人臂具有视觉单元，可用于监测热处理的进展，确保晶片与热板精确对齐。机器人手臂上装有一系列安全联锁装置，防止处理器在热板移离样品晶片时操作。此外,ACCRETECH ARTS-HS具有用户友好的软件界面,易于控制和监控处理器的操作。接口可以从PC、平板电脑或智能手机访问，并具有一系列可以调整以达到预期效果的参数。总体而言，ART-HS是一种先进的快速热处理器，为Power半导体器件的热处理提供高速精度。其热板机、气体输送能力、机器人臂、用户友好的软件界面都结合在一起，提供了出色的性能，节省了时间，提高了生产率。