二手 AG ASSOCIATES 2146 #118008 待售

AG ASSOCIATES 2146是专门为半导体处理而设计的快速热处理器（RTP）。2146具有许多特点，使其成为现代半导体制造的理想选择。AG ASSOCIATES 2146有一个令人难以置信的快速的工艺循环时间，允许更高的硅片吞吐量。系统的循环时间可以缩短到20秒,每小时最多可执行800个进程。这允许安装周期较短的较大批次。2146允许在处理过程中提高热剖面的精度。它具有在多个区域中精确控制激光二极管温度的功能，能够对单个区域或级联的多个区域热壁进行极其精确的温度控制。这一级别的精密控制可以大大降低热循环结果的可变性，使过程更加坚固和均匀。AG ASSOCIATES 2146还提供了多种可用于RTP过程的工艺化学。例如，它能够提供氧化、氮化、退火和蚀刻。这使得它能够满足任何给定过程的要求，最大限度地提高灵活性和效率。2146还配备了精确的温度监控器，在实际过程周期内提供对温度的最佳实时控制。此监视器用于确保热轮廓准确,并对过程中的变化作出动态反应。最后,AG ASSOCIATES 2146为用户提供了许多安全功能,如气体控制安全功能和安全协议。这些功能有助于确保过程安全进行，并符合最高安全标准。2146是寻求针对现代半导体处理进行优化的RTP工艺的制造商的理想系统。利用其快速的周期时间和精确的温度控制,它可以为希望提高生产吞吐量和降低每晶圆成本的用户提供高效而可靠的解决方桉。