二手 AG ASSOCIATES 410 C23 #199775 待售

AG ASSOCIATES 410 C23是一种快速散热处理器,旨在以毫秒/秒的时间分辨率将可靠且可重复的基板加热过程传递到20至1500摄氏度的温度。这种处理器的设计服务范围广泛的工业过程，如半导体加工，MEMs制造和光子研究使用。这种快速热处理器提供样品均匀性、均匀的温度分布和可重复的热处理,因为它使用的是水平或垂直输送机,并配有集成的温度配置文件控制器。这允许为常规单晶片处理（RSW）或多晶片配置（MSW）设置过程。晶圆可以以最小的中断或关闭时间装卸，使其适合于具有校准改进和增加吞吐量的制造应用。410 C23有11个独立的热区,以及5个可选的虚拟区,具有直接供暖和制冷功能以及吸热和放热功能。它具有可扩展的腔室设计，可以容纳直径达200毫米/8英寸的晶片。温度轮廓控制器还允许在每个区域设置特定的成形器温度,以确保最精确和准确的热循环。它具有6-8KW的有效加热器容量和高达1.3KW的冷却容量。这与直接加热和冷却功能相结合,确保了非常快的热循环时间。与传统的快速热处理器相比,真正的一步热处理和温度去相关功能可以将热循环时间快速缩短70%。AG ASSOCIATES 410 C23还有一个保护包，提供氧气和氮气系统选项。这有助于减少空气污染，从而在室内形成氧气/氮气气氛。410 C23的其他功能包括用于快速诊断的自动化现场服务实用程序、增强的系统访问能力以及用于过程控制的用户可调安全限制设置。该散热处理器还具有实时报警器、集成的数据传输/存储、专用的冷却风扇、镜像监视器室和自动晶圆流程图记录器,可消除对工艺室的污染。总体而言,AG ASSOCIATES 410 C23 Rapid Thermal Processor是一款用途广泛、效率高的处理器,具有众多功能,是任何工业生产过程的理想选择。