二手 AG ASSOCIATES 410 #73198 待售

ID: 73198
晶圆大小: 4"
Rapid Thermal Annealer, up to 4" wafers Manual controls Digital display Custom quartz holders available 400°C to 1200°C Max heat / cooling rate at 150°C/second.
AG ASSOCIATES 410是一种大容量快速热处理器(RTP),用于退火和其他高温过程。利用两个石英石英分裂平面烧结炉实现快速热加工。410型号的腔室为10 "x 6" x 4",温度范围为20°C至800°C。AG ASSOCIATES 410允许样品材料不降解,并且具有均匀的压下分布,为晶圆级加工的苛刻需求提供了理想的环境。410具有两个独立的热处理室,允许进程同时在两个室中以不同的温度运行。这样就可以执行多个温度配置文件和不同时间范围的进程。热可编程区允许微调温度控制,进一步有助于设备的高精度。AG ASSOCIATES 410还配备了多气体控制us,这增加了它的多功能性和适应不同流程要求的能力,而不同的气体流量是可以实现的。410型号还包括作为热源的加热器和能够向加热器提供高功率的变压器。此外,AG ASSOCIATES 410型号还配备了能够精确控制温度的传感器,从而无需手动监控。410还具有嵌入式控制器,允许手动和自动操作系统。此外,该单元的用户界面允许设置多个参数,包括温度、气体流量和热循环。机器内置的安全特性也保证了执行的过程安全高效。AG ASSOCIATES 410快速热处理器是一种可靠且功能强大的工具,可提供高精度,满足晶圆级处理的苛刻需求。它具有独立的热处理室和可编程区域,是晶圆级处理的最佳解决方桉之一。此外,它的多功能性、嵌入式控制器和多气体控制使其成为广泛应用的理想选择。
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