二手 AG ASSOCIATES 410 #9140495 待售

AG ASSOCIATES 410是一种快速热处理器（RTP），设计用于热处理各种基板，如SiO2、Si3N4、聚合物、金属等。该设备能够在单个循环中执行以下过程：热退火、氧化和氧化退火。410是一个可靠且可重复的系统，旨在满足半导体器件和MEMS处理的要求。AG ASSOCIATES 410是一个由一个加工室、控制器和一次支撑四个基板的热板机组成的批处理型单元。它有一个圆柱形的石英工艺室，带有两个铝合金板，以提供整个基板的均匀温度。该工具的最高工作温度为800°C,能够在30秒内加速到温度,在基板上均匀度± 2°C。此外，该资产还配备了强制气体循环功能，可在多个基板上提供统一的温度控制。410是一款高级型号，提供了广泛的功能，包括高级温度测控、自动晶片对准、负载锁定操作和远程腔室诊断。此外，该设备的压力范围为10Torr至1000Torr，并与各种室内大气层兼容，包括N2、H2、Ar和O2。除了上述功能外,AG ASSOCIATES 410还提供了一个简单直观的用户界面,可方便操作和可调参数。此外，该系统还提供各种分析和诊断功能，包括O2等离子体蚀刻和氧化分析。此外,还有一个可选的MFC接口,可轻松与各种分析仪器集成。总体而言,410是一个用途广泛且可靠的快速热处理单元,它结合了精度、速度和可重复性,使其成为各种半导体器件和MEMS处理应用的完美解决方桉。其先进的功能和用户友好的界面使其易于操作和维护。因此，它是需要快速高效RTP工具的制造商或研究实验室的理想机器。