二手 AG ASSOCIATES 4100 #9147789 待售

AG ASSOCIATES 4100快速热处理器是先进半导体制造的强大可靠工具。4100具有先进的设计,可提供高吞吐量和在批处理模式下快速处理大型晶片的能力。该装置支持氧化、退火、掺杂剂植入、氮化物沉积和快速热处理等多种过程。该装置配有气体净化系统和各种温度监测传感器，用于精确的过程控制。AG ASSOCIATES 4100具有集成的基于微处理器的控制器,具有各种可编程温度曲线。该处理器允许为每个晶片定制温度配置文件,从而通过确保统一的处理时间和温度来提高可靠性。用户还可以编程可调节的功能。作为温度斜坡速率、区域控制和公差。该单元还配备了一个旋转室，可同时容纳四个晶片。腔室在多个加热和冷却区域之间旋转和滑动，为每个晶片提供统一的温度控制。这样可以确保均匀的加热和冷却速率,从而提高晶圆的吞吐量。利用自动气体净化功能减少晶片处理过程中的潜在污染。清除气体储存在外部储罐中，并由气体流量计监测。4100具有陶瓷芯设计，允许在快速热处理过程中高效散热。该装置还包括一个冷水机，根据所需的冷却速率迅速降低夹套的温度。这样可以确保晶片的均匀冷却,并在操作过程中将温度保持在+/-5摄氏度。AG ASSOCIATES 4100配备了先进的监控系统，可方便监控和精确控制温度。其中包括各种警报,以提醒用户注意潜在问题并确保操作安全。4100具有广泛的设计功能,是一种高效可靠的半导体制造工具.