二手 AG ASSOCIATES AW 610T #9272710 待售

ID: 9272710
晶圆大小: 6"
优质的: 2012
Rapid Thermal Processors (RTP), 6" With upgraded OS windows Aluminum chamber With water cooling and gold plating Isolated Quartz tube without window oven control board Main control board bottom and top heating: 21 (1.2 kW Each) Radiation heating lamp modules (4) Bank zones: Top, front, rear, bottom Quartz tray, 3"-6" round wafer Gas line MFC Without shut-off valve Holder: 100-800°C NESLAB RTE7 Chiller LCD Monitor, 17" Mouse Standard keyboard T-Shape quartz with TC Power supply: 208 V, 60 Hz, 50 A, 3 Phase 2012 vintage.
AG ASSOCIATES AW 610T Rapid Thermal Processor旨在满足半导体行业高级热工艺所需的快速坡度和高温要求。AW 610T为各种制造工艺提供了卓越的性能,包括模具粘结、模具连接、扩散、氧化、回流、金属化和退火。AG ASSOCIATES AW 610T配有双模控制器,使用户能够对过程配置文件或稳态温度进行编程。此功能大大增强了用户在确定烤箱设定点方面的灵活性。AW 610T具有一种有效的顶热优化算法,该算法旨在利用分布式加热元件和有效的温度传感来实现极好的均匀性和控制性。AG ASSOCIATES AW 610T还包括外部和内部配方的精密晶圆跟踪程序。此功能允许烤箱调整工艺参数,以适应个别晶片的不同条件。AW 610T配备了先进的自测和自动调谐系统,自动启动并完成所有组件的安全测试。该系统有助于确保安全可靠的制造环境。AG ASSOCIATES AW 610T还包括多区域模式操作,以实现精确的温度控制和优化的轮廓执行。此外,AW 610T还配备了模块化设计,使其更易于组装、配置和维护,并允许在操作环境中实现最大的灵活性。AG ASSOCIATES AW 610T的最高温度范围为1000 °C (1832 °F),最大坡道速率为1 °C/Sec (1.8 °F/Sec)。AW 610T符合SEMI Standard 276,对于需要快速加热和冷却晶片而又不牺牲精度或温度均匀性的制造商来说,它是一种经济高效的解决方桉。其可靠的设计和坚固的性能使其成为半导体工业中许多先进热工艺的理想选择。
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