二手 AG ASSOCIATES AW-810M #9013662 待售

AG ASSOCIATES AW-810M是一种用于半导体器件和材料高温处理的快速热处理器（RTP）。RTP是专门针对离子植入、外延、干湿蚀刻、扩散和快速热退火、N和P+离子植入等相关工艺的加工要求而设计的。AW-810M提供精确的热处理，具有最大的均匀性和可重复性。RTP具有高压、闭环加热和冷却室、热电偶控制的往复级以及两台用于射频和直流电源的发电机。AG ASSOCIATES AW-810M还配备了集成的电气控制系统和先进的用户界面，结合起来提供整个腔室最大均匀度为1.5%的精确温度控制。AW-810M利用石英管热范围,允许加工温度高达1150 °C。加热器的最大输出功率为4.5kw，可在一毫秒内达到高达800°C的斜坡温度。为确保温度均匀,AG ASSOCIATES AW-810M采用热电冷却系统,该系统可提供高效、快速的热循环以及大约每秒100°C的冷却速率。RTP还配备了热电偶控制的往复运动级，允许在过程周期中进行精确的温度控制。此外，AW-810M还配备了两台用于射频和直流电源的发电机，以及一个液氮系统，用于在低压下实现较高的温度均匀性。AG ASSOCIATES AW-810M设计用于各种研发环境,包括大学、研究所和工业实验室。RTP非常适合半导体的处理，与传统方法相比，它可以大大减少处理时间。AW-810M易于操作,提供均匀的温度和对过程变量的精确控制。包含的用户界面使RTP的操作和维护变得轻松高效，使用户能够在短时间内实现统一的处理结果。