二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 210 #170134 待售

ID: 170134
晶圆大小: Up to 4"
Rapid Thermal Processor Annealing System, up to 4" Specifications: Single wafer annealing with precision temperature control Accommodates wafer sizes up to 4" Operating temperature range of 400° to 1200°C 200/208 VAC, 50/60 Hz, 100 Amp Controller not included.
AG ASSOCIATES Heatpulse 210是一款通用的快速热处理器(RTP)。它被设计为能够对各种基板(包括但不限于玻璃、砷化氙和硅)进行准确、可靠和可重复的温度控制。它具有宽广的温度范围(从15°到1200 °C),可以处理直径达200毫米的大型基板。热脉冲210由双极交流电源驱动,并包含一个前沿加热级。它拥有高效的传热系统,准确的反馈控制器,以及最先进的触控界面。此外,一个独特的指南轨道允许轻松加载、更长和更稳定的流程周期以及可靠的设置重复性。AG ASSOCIATES Heatpulse 210具有简单而高效的数字处理接口和先进的过程控制功能。这可以用来控制和监测基板的温度。它具有三区架构,具有优异的设备保护和精确的温度均匀性。用户可以使用高分辨率的步长控制器根据工艺要求调整加热/冷却速率,或者应用用户定义的配方来控制温度上升和冷却速率。Heatpulse 210附有一套全面的安全特性。过温成像仪用于检测过程中基板的任何不希望的加热。此外,它的无粒子环境满足或超过了要求最苛刻的行业的所有纯度要求。AG ASSOCIATES Heatpulse 210是一款可靠、易于使用的快速热处理器,可提供精确的温度控制和长期可重复性。其先进的控制系统,优越的温度均匀性和安全特性,使其成为各种热处理应用的理想选择。
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