二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 210 #293627701 待售

AG ASSOCIATES Heatpulse 210是一种快速热处理设备，设计用于为各种晶圆基板提供可重复的温度控制工艺。该系统以脉冲快速热循环模式运行，以实现最佳的过程控制，使产品具有高度均匀的性能和卓越的可重复性。该单元采用模块化结构,易于为各种应用程序配置。它设计为易于维护,允许快速、轻松的设置和操作。在其基本配置上，机器带有一个RTP（快速热处理器）站、一个退火站和一个8英寸石英石英敏感器的熔炉。它旨在以双区域配置运行，提供两个单独的流程室，以促进多个同时流程。该工具的标准特性包括精确的温度控制资产，由板载嵌入式控制器控制，提供精确的热循环管理，包括精确的自动温度斜坡、精确的温度采样和控制以及精确的热测量。此外，该模型还包括一个全面的数据记录设备，它为分析和过程优化提供了宝贵的数据。该系统还包括一个基于Web的图形用户界面，便于设置、校准和控制。此外，该装置能够支持复杂的过程，包括精确的泵降、多级真空泵送和对时间敏感的过程。它还具有多种类型工艺的制造能力,从单占空比操作到连续、统一的批处理过程。总体而言，Heatpulse 210是一款强大的快速热处理机，设计用于精确、可重复的温度控制和精确的工艺优化。通过模块化设计,可以轻松配置它以满足任何特定应用程序的需求。通过将RTP站和熔炉站的特点结合起来，能够支持多种类型的工艺，包括精密的泵降、多级真空泵送、均匀的批处理过程运行和对时间敏感的操作。