二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 4108 #9146307 待售
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ID: 9146307
晶圆大小: 5"-8"
优质的: 1993
Rapid thermal processor annealing system, 5"-8"
Electronics
Mass-flow-controlled gas handling
Cooling
ULPA Filtration
Mechanical assemblies
Applications:
Silicon dielectric growth
Implant annealing
Glass re-flow
Silicide formation and annealing
Nitridation of metals
Contact alloying
Oxygen donor annihilation
Wafer handling: Automatic serial processing
Standard cassettes
Throughput: Process dependent
Ramp-up rate: Programmable
1 – 180°C Per second
Steady-state duration: 1 – 600 Seconds per step
Ramp-down rate: Programmable
1 – 180°C Per second
Ramp down rate is temperature
Radiation dependent
Maximum 150°C per second
Recommended steady-state temperature range: 400 – 1200°C
ERP Temperature accuracy:
+3°C to -7°C
Calibrated against an instrumented thermocouple wafer (ITC)
Temperature repeatability: + 3°C
Temperature uniformity: + 5°C
1993 vintage.
AG ASSOCIATES Heatpulse 4108是一款高速高级快速热处理器,专为严格的工艺应用而设计。Heatpulse 4108具有先进、自动和精确的温度控制功能,可提供最大程度的过程控制和灵活性。AG ASSOCIATES Heatpulse 4108利用了一种强大的石英涂层碳化硅源材料，提供可靠和精确的温度控制。它具有每秒1000摄氏度的快速坡道速率。利用其先进的温度控制器，Heatpulse 4108能够快速准确地调节温度，为用户提供极高的精度和重复性。此外,AG ASSOCIATES Heatpulse 4108提供了卓越的热均匀性.其多区、石英涂层的碳化硅加热元件确保整个晶片的温度分布均匀。它还提供了改进的热循环，以提高产量和工艺稳定性。Heatpulse 4108系统的优点之一是模块化、灵活的设计。它可以在单次脉冲或多次脉冲模式下操作。此外,AG ASSOCIATES Heatpulse 4108提供易于配置的参数,允许用户创建自己的周期配置文件。用户可以从各种各样的晶圆尺寸中进行选择,并安装自定义的工艺配方。为了安全起见,Heatpulse 4108采用自动锁定、隔离芯和集成互锁功能设计。它还具有互锁保护的故障诊断功能。总体而言,AG ASSOCIATES Heatpulse 4108是一款可靠且用途广泛的快速散热处理器。其精确的温度控制、改进的热均匀性和可定制的循环轮廓使其非常适合苛刻和复杂的工艺应用。
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