二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 610 #293811776 待售
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ID: 293811776
晶圆大小: 6"
Rapid thermal processors, 6"
(21) tungsten halogen lamps in an upper and lower array
No quartz tube and tray
Graphical User Interface (GUI).
AG ASSOCIATES Heatpulse 610是一款工业级快速热处理器。该机具有快速的热循环和精确的温度控制,非常适合快速退火和加热应用。AG ASSOCIATES HEATPULSE 610可以在操作员指定的广泛温度范围内提供均匀、可重复的加热和冷却。Heatpulse 610设计有一个大的热室,可以容纳高达600mm x 600mm的材料。此设计可确保材料表面均匀加热,并消除较小腔室中可能出现的温度波动。热室通过触摸屏显示器操作,使操作员能够精确控制每个过程步骤。HEATPULSE 610采用高精度、数控溷合动力系统,性能优于传统方法。该电力系统包括两个加热元件,一个用于优化温度均匀性和最大化功率效率的大功率闭环控制,以及一个低分辨率和独立分辨率的温度控制系统。AG ASSOCIATES Heatpulse 610由于其快速的热循环,在快速退火和加热应用方面表现出色。AG ASSOCIATES HEATPULSE 610的循环时间为20到60秒,可以快速准确地将材料加热到最高800 °C的温度。数字温度控制消除了温度设置超调的可能性,并确保过程中快速、可重复的加热。此外,Heatpulse 610还采用模块化开放式体系结构平台进行设计,能够集成到现有生产线中-还提供了附加集成的附件。总体而言,HEATPULSE 610提供卓越的性能、快速的热循环时间、精确的温度设置和宽广的温度范围,使其成为快速退火和加热应用的完美机器。
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