二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 8108 #9226004 待售

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ID: 9226004
晶圆大小: 4"-6"
优质的: 1996
Rapid Thermal Processor (RTP), 4"-6" Main body Side panel Pyrometer chiller Rear monitor cart Quartz rack (Tray) Wafer transfer operation, 6" Robot and controller AC And DC power STDBUS Control box Pyrometer measurement temperature control system Pyrometer and special water cooler Control appliances and cables Temperature calibration sheet Temperature calibration tool pyrometer and omega 6-Gas channels with 5 MFCs Cooling station 1996 vintage.
AG ASSOCIATES Heatpulse 8108是一款高分辨率快速热处理器,设计用于研究和生产半导体晶片。该处理器能够保持精确的热特性,并控制从低温到超过1,400摄氏度的整个晶圆温度范围。它非常适合使用薄膜和多层工艺处理晶片,以及用于制造和测试设备。AG ASSOCIATES HEAT PULSE 8108具有先进的高分辨率快速热处理器,具有快速热分析功能,可快速执行与热分布、脱气和离子植入相关的所有操作。利用其快速的斜坡速度和低功率的加热元件技术,晶圆的制造可以在几分钟内完成。该热系统进一步配置了一个集成的可编程控制器,用于对温度、压力、时间和其他条件进行独立、精确的控制,以执行各种过程。此外,此处理器可以进行多种测量,包括但不限于温度和电流、电压、时间和压力。这种操作模式允许用户自主执行一系列操作,实时监控流程的情况。此外,此处理器还采用了可选的高级专有PID控制算法,以提高控制精度。处理器还配备了众多的安全功能,如自动关机功能、自动压力控制、过温保护和H2O保护。安全特性保证了系统的最佳安全性,延长了系统的使用寿命。该处理器还包括一个集成的真空端口、一个升高的端口和多个I/O端口,以允许连接到外部系统、传感器和其他硬件,以便通过实时监视和控制连接到PC。HEATPULSE 8108是为研究和生产半导体晶片而量身定制的综合性快速热处理器。其先进的设计和特点使其成为薄膜和多层制造的理想选择。Heatpulse 8108凭借其卓越的快速热性能分析、低功率加热元件技术、先进的PID控制算法和内置的安全系统,是半导体晶圆制造工艺效率和生产率最大化的完美解决方桉。
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