二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 8800 #293622197 待售
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AG ASSOCIATES Heatpulse 8800是一款功能强大的快速热处理器（RTP），用于在晶圆处理、退火、尖峰退火和其他热处理等一系列过程中精确控制时间、温度和大气。8800具有先进的控制体系结构和软件,允许精确调整其参数,以实现精确的温度、气流、时间和压力循环。8800具有最先进的设计，结合了高温均匀性和快速加热能力，使其能够以非凡的精度处理一系列晶圆尺寸和温度。8800还设有一个集成反应堆室，用于在退火过程中控制大气，允许随着时间、温度和气体精确控制。8800包括集成的晶片加载系统，允许单个晶片或批次的轻松加载。8800还具有内置的可编程计算机，允许从各种软件包中轻松编程RTP的参数。8800的高温范围为1250°C（2282°F），单个晶圆室的温度均匀度为± 4°C（7°F）。对于退火过程，8800的压力范围为5-10 Torr，步进循环时间为0.1-12秒。它还有一个内置气体输送系统，可以精确控制惰性气体流动。8800设计坚固可靠，并可在工业上遇到的恶劣环境下使用。它还设计了高效的冷却系统,使其能够快速冷却和循环。总体而言,AG ASSOCIATES HEATPULSE 8800是一款功能强大且可靠的RTP,旨在在一系列过程中提供精确的定时和温度控制。
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