二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 8800 #9235031 待售

AG ASSOCIATES Heatpulse 8800是为半导体工业研发而设计的快速热处理器。为快速热退火、快速热氧化和快速热氮化工艺而研制。所有这些工艺都用于半导体的制造。AG ASSOCIATES HEATPULSE 8800是一种坚固的仪器，配置有无油泵和石英红外加热灯。它具有整个工艺室的高温均匀性，具有较高的重复精度和改进的工艺可重复性。它能够达到高达1000 °C的温度，并且可以退火直径高达150 mm的晶片。它还设有可达到10 mTorr的两层真空设备。热脉冲8800有一个特别设计的冷却系统，方便快速冷却。它保证了一个自适应单元，能够精确地相应地调整热脉冲模式，以达到理想的过程参数。该仪器还装有一个多区加热机，用于精确控制工艺室内的多个热区。它最多可管理五个供热区，从而使整个工艺室均匀退火。其用户友好的设计具有易于使用的图形界面，以允许直观的控制。该软件能够提供温度、工艺室压力、时间和停留时间等参数的详细图形表示。它还具有过程跟踪参数,如总热时间和循环数。HEATPULSE 8800易于维护,可提供全球服务和支持。它是一种快速、可靠、精确的热处理器，对半导体研发过程至关重要。