二手 AG ASSOCIATES RTP-2106 #9045424 待售
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ID: 9045424
晶圆大小: 3"-6"
Rapid thermal processor, 3"-6"
Applications:
Implant activation
Silicide formation
Oxide reflow (PSG & BPSG)
Alloying
Cassette to cassette
Microprocessor controlled
Wafers per hour throughput: 60-100
Depending on anneal cycle
Temperature range: 400-1250ºC
Anneal time: 1-300 Seconds
Electrical requirements:
208-240V, 3 Ohm
60A Maximum
Water requirements: 2 GPM at 60-75 PSG.
AG ASSOCIATES RTP-2106快速热处理器（RTP）是一种标准速率的热处理器,旨在快速高效地处理材料。它采用精心控制的、高功率的热工艺来处理半导体晶片、平板显示器和微电子器件等材料。这种通用工具可用于退火、活化、氧化、驱动或将薄膜沉积到基板上。RTP-2106配备了最新的控制设备,具有先进的基于算法的热分析功能,以及集成的数据日志记录功能。先进的传感器和多个腔室可以实现最佳的温度控制和均匀的热分布。AG ASSOCIATES RTP-2106能够达到1010°C的温度,准确率为+/-2°C。这台机器还允许快速循环时间，导致曝光时间更短，处理时间更快，产量更高。RTP-2106还具有集成的安全功能,例如过温保护、可移动SS屏蔽、带自动关闭的LED警告系统和紧急停止按钮。该装置还配备了内置真空机，确保产生的蒸气正确排出。AG ASSOCIATES RTP-2106的设计占地面积很小,非常适合小型实验室使用。该工具易于编程和操作，可以定制以满足每个环境的特定需求。此外,RTP-2106还具有高效的数据分析功能、安全的受密码保护的用户访问权限以及大量的可追踪性工具。总体而言,AG ASSOCIATES RTP-2106是一款先进的快速散热处理器,旨在以具有竞争力的价格提供可靠高效的性能。广泛的功能和集成的安全协议使该资产成为寻找通用高效散热处理器的任何实验室的理想选择。
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