二手 ALLWIN21 AWgage 200 #9201797 待售
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ID: 9201797
晶圆大小: 4"- 8"
Metal film metrology system, 4"- 8"
Main frame
Measurement head
Non-contact sheet resistance measurement
Measurement range: 1m W/sq to 19,990 W/sq
Consistent wafer-to-wafer process cycle repeatability
Wafer carriage travel programmed:
With internal encoder step motor
Without encoder disk
Test sights:
Single center-point
(5) Points
(9) Points
Highly conductive or metal sheet resistance:
1 to 1,999 mW/sq
1 to 1,999 W/sq
10 to 19,990 W/sq
Highly conductive or metal film thickness minimum:
100Å (Ångström) Maximum:
Proportional to resistivity
Maximum for a resistivity of 2.7 mW: 270 kÅ (27 mm)
Sheet resistance repeatability:
Range s/X (±%)
1 to 100 mW/sq 1
100 to 500 mW/sq 2
500 to 1000 mW/sq 4
1000 to 1,999 mW/sq 6
1,999 to 5,000 W/sq Consult factory
5000 to 10,000 W/sq Consult factory
10,000 to 15,000 W/sq Consult factory
Boards:
RF Tank circuit
Pentium® class computer
Main control
Motor control
Ports:
(2) USB
(2) Extra DB9
Touch screen GUI, 15"
Mouse & keyboard
Room temperature: 23° C
Power:
50/60Hz
Single phase
110/220VAC
2 Amps
CE Marked
Wafer loading: Manual.
ALLWIN21 AWgage 200是一种快速热处理器,旨在在各种半导体、光子学和LED制造工艺中快速加热、冷却和传输材料。AWgage 200可以实现速度高达1,800°C/min的极端温度，使其适合许多依赖于温度的应用。设备独特的模具和基于晶片的热技术有助于减少编程、处理和循环时间,同时保持零件完整性。它的灵活性允许各种定向加热和冷却操作，以及广泛的可编程温度。ALLWIN21 AWgage 200能够处理多种材料，包括各种半导体和光子基板、硅片、氧化铝、蓝宝石、石英和金刚石基板。其先进的热控制技术还允许精确的温区管理和精确的温度上升速率，以创建明确定义的温度剖面。该系统还具有真空控制的环境压力室、低温冷却能力，以及一个可互换的物料处理单元和独立的泵和处理模块。AWgage 200设计了一个用户友好的控制机器，使其易于控制和监控整个热过程。该工具的连续监控和报告功能,提供有关资产操作、温度控制和周期时间的详细实时更新。此外,它的涡轮增压气流功能通过热处理器加热的快速冷却部件来保持过程一致性,从而实现无错误的后处理部件。ALLWIN21 AWgage 200是一款功能强大、可靠且灵活的散热处理器,可提供精确的温度控制、超快速的加热和冷却功能,以及均匀的加热/冷却覆盖范围,可快速处理多种材料。AWgage 200具有卓越的热工程能力,是各种高性能热工艺的理想解决方桉。
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