二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-22033 #38964 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-22033快速热处理器（RTP）是一种先进的半导体热处理装置，用于晶圆的快速加热和冷却。它能够在很短的时间（3-5秒）内快速、精确、可重复和均匀地加热和冷却晶片。RTP是同类技术中唯一一种能够在不使用大功率灯的情况下保持温度大于1000 °C的技术。该机的设计由两个用于晶圆快速加热和冷却的下腔和一个用于高温退火的上腔组成。晶片放置在射频感应线圈上,该线圈用于生成所需的热剖面。在加热/冷却周期中，晶片暴露于惰性气体（N2、Ar和O2）和重氮甲烷气体的挥发性流动中，这有助于为晶片的均匀退火创造环境。腔室温度由控制器腔室调节,通常在500-1200 °C之间,最高精度为± 0.1°C。此外，RTP还支持扩散、氧化和多层金属化等过程。这台机器提供了一个高性能的自动化系统，能够同时处理多达8个晶圆，同时实现短至20-25秒的循环时间。AMAT 0010-22033 RTP的使用具有很大的优势,因为它能够在高吞吐量下产生可靠的结果,同时为热工艺研究和产品开发提供了改进的平台。其优势包括优越的空间均匀性、可重复和可控的处理，以及减少了工艺周期时间。此外，其先进的自动化能力，包括材料和气体输送，以及晶圆自动处理，减少处理和污染风险。APPLIED MATERIALS 0010-22033 RTP的这些特性使得它成为广泛热处理应用的绝佳选择，包括半导体器件制造、集成光电器件以及各种纳米结构和微加工工艺。散热处理器还能够通过多个晶片批次、标准和高级配方以及工艺批次跟踪提供更高的生产率。