二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ACP Radiance #9399900 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ACP Radiance是一种快速热处理器，旨在促进半导体和MEMS（微电子机械系统）铸造应用中晶圆的精确快速热处理。这种紧凑、自动化的设备提供了对各种材料热处理的精确控制,其响应时间快、通量高、底板温度均匀。AMAT ACP Radiance利用两种不同类型的辐照和温度控制方法来精确控制基板的温度。其中包括直接和间接红外加热，以及双/多区气体控制和辐射快门能力。直接红外加热使用来自二极管阵列的准直、输入到输出光束，该光束聚焦在样品表面上，提供快速和均匀的加热。间接红外利用反射器系统和黑体源在整个样品中保持均匀的热轮廓。APPLIED MATERIALS ACP Radiance的气体控制特性为快速热处理提供了更高水平的温度控制和过程重复性。该装置能够将多种气体从一个加工室穿梭到基板上，从而产生不同的气体浓度和流速。此功能可为短期和长期过程提供更精确的温度控制。这款创新的散热处理器包括先进的冷却机部件，如热电偶，用于精确的温度监测和控制。闭环温度控制工具可根据资产监控组件的反馈来确保恒定温度。此功能有助于保持均匀、可重复的处理,并在晶圆上的温度梯度最小。ACP Radiance模型的设计目的是在不影响工艺质量或材料可靠性的情况下缩短快速热处理的周期时间。利用直观的过程控制器和易于使用的图形软件界面,AMAT/APPLIED MATERIALS ACP Radiance易于操作和编程,只需进行最少的干预或手动调整。这种高度通用的热处理器适用于一系列半导体和MEMS应用，包括先进的高放大度量（AFM/STM/TEM）成像、晶片碰撞、翻转芯片键合、模具键合、MEMS制造等等。AMAT ACP Radiance在快速热处理过程中提供精确的温度控制，使用户可以实现降解水平较低的更一致的加工材料。