二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Radiance RPO #293591363 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Radiance RPO是一种快速热处理器,旨在实现高级半导体器件的高通量、高温处理。Radiance RPO提供独特的功能组合,以支持前沿设备开发。Radiance不仅限于浅沟隔离、场氧化物修剪和多晶硅氧化等传统应用，还可用于接触蚀刻背、金属蚀刻背和PEALD等多种应用。Radiance配备了最先进的快速热处理器的标准特性,包括AGVP（高级气阀封装）模块、四个独立的反应堆区域以及用于顶部和底部敏感器的双区域控制。集成的过程管理和监控系统允许用户控制晶圆鞘温度和时间范围，以及气体流量和通道压力。系统的自动化数据收集和过程优化功能促进了可重复、可靠和一致的过程,具有前所未有的可重复性,即使在分层胶片上也是如此,这大大提高了过程的可扩展性。为了提高性能,Radiance还配备了全套自动温度、时间和循环控制功能。集成的脉冲功能通过多个离散步骤控制时间和温度,使用户可以更精确地描述其过程。此外，内部气体管理系统允许用户在整个过程中控制和监测气体的引入，从而实现更大的流程灵活性。Radiance的先进工艺技术为先进晶圆制造工艺提供了无与伦比的精度。处理器允许用户准确地定义和控制过程参数,允许精确的热过程、严格的温度和持续时间控制以及精细调整的过程配方。此外,Radiance还配备了许多专有功能,旨在提高性能并增强流程配方的安全性,如完全唤醒/关闭流程配方、用户可配置的一致性限制以及高度安全的数据存储和密码验证。综上所述,AMAT Centura Radiance RPO是一种快速热处理器,旨在支持各种晶圆制造过程和应用。Radiance提供无与伦比的精确度、流程可扩展性和灵活性,以及一组专有功能,以最大限度地提高性能、流程安全性和用户体验。