二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPN+ Radiance #9263061 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPN+Radiance是一种快速热处理器,专为高级过程控制和可靠、可重复的热过程而设计。它能够在室温和超过1000°C的温度之间施加均匀的温度,并且热处理速度高达1500°C。Radiance设备配备了强大的对流加热系统，将辐射传热（RHT）技术与闭环空气再循环单元相结合。这允许更快的加热和冷却，以实现短循环时间和精确的温度斜坡速率控制。辐射机还提供卓越的温度均匀性，具有较低的热方差和严格的温度控制精度。Radiance工具配备了先进的监控功能。其集成配方管理资产（RMS）为从单晶片到几百个晶片的批量大小提供了精确的可编程配方。AMAT DPN+Radiance的高级控制软件允许将来通过软件下载进行升级,在各种各样的制造环境中提供可扩展性和灵活性。该模型还可以进行实时实时调整,以实现最佳的热过程控制。Radiance设备采用坚固、优质的材料,确保高效运行和使用寿命长.它的高大大气室由高温不锈钢构成，内衬陶瓷和石英组件，以达到最佳绝缘效果。其真空密封垂直滑动门为晶片装卸提供了方便的通道，其气流系统与快速均匀加热的晶片红外辐射法相结合。Radiance单元还提供可选的双HiPIMS源,以实现卓越的温度均匀性和可重复性。HiPIMS技术可用于提高温度均匀性，同时减少铝层表面的氧化。此外,Radiance机器还包括集成的安全功能,如环境压力控制和过温保护,以确保所有部件和人员的安全。APPLICED MATERIALS DPN+Radiance工具使一个可重复和可靠的热过程能够在广泛的制造应用中实现统一的结果。先进的工艺控制功能和可靠的部件可实现最佳、精确的热响应和高产率。